半導(dǎo)體流片和前道制備工藝的質(zhì)量檢測(cè)有國(guó)產(chǎn)技術(shù)保障了！昨天，記者從日聯(lián)科技獲悉，日聯(lián)科研團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)8年持續(xù)攻關(guān)，成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首款開(kāi)放式X射線(xiàn)源（開(kāi)管射線(xiàn)源），并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，以納米級(jí)分辨率，完成我國(guó)在高端X射線(xiàn)源領(lǐng)域從技術(shù)追趕到全球并跑的跨越式突破。

　　采訪獲悉，日聯(lián)科技是中國(guó)工業(yè)X射線(xiàn)領(lǐng)域的龍頭企業(yè)，也是國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè)和科創(chuàng)板上市公司。公司主要產(chǎn)品是工業(yè)X射線(xiàn)檢測(cè)裝備和X射線(xiàn)發(fā)射源，用于全球幾大高科技工業(yè)制造領(lǐng)域的產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)，在業(yè)界被稱(chēng)為“工業(yè)醫(yī)生”。

　　開(kāi)管射線(xiàn)源的核心技術(shù)長(zhǎng)期被海外壟斷，全球能獨(dú)立研發(fā)和生產(chǎn)高性能納米級(jí)開(kāi)放式X射線(xiàn)源的公司屈指可數(shù)。“日聯(lián)科技自2012年就成立了基礎(chǔ)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，通過(guò)上千次實(shí)驗(yàn)、工藝調(diào)整，攻克了高密度電子束精準(zhǔn)聚焦、兆瓦級(jí)熱載荷材料耐受性、多物理場(chǎng)耦合真空腔體設(shè)計(jì)等多項(xiàng)核心技術(shù)難題，完成極其精密的電子光學(xué)系統(tǒng)搭建。”日聯(lián)科技董事長(zhǎng)劉駿表示。

　　據(jù)介紹，為了追求更高性能、更低功耗和更小尺寸，先進(jìn)封裝已進(jìn)入了3D堆疊封裝時(shí)代。芯片被像高樓一樣堆疊起來(lái)，內(nèi)部的連接點(diǎn)完全被遮擋，能夠“透視”這些多層結(jié)構(gòu)并進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)的成熟技術(shù)就是X射線(xiàn)。納米級(jí)開(kāi)管射線(xiàn)源通過(guò)控制射線(xiàn)束，觀察芯片內(nèi)部深層缺陷，成為支撐半導(dǎo)體制造業(yè)繼續(xù)向更小、更復(fù)雜、更集成方向發(fā)展的關(guān)鍵質(zhì)控工具。每一支成功的開(kāi)管射線(xiàn)源，都代表了在材料科學(xué)、真空物理、電子光學(xué)、精密機(jī)械和自動(dòng)控制等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域頂尖技術(shù)的融合與突破。

　　日聯(lián)科技的160kV開(kāi)放式微聚焦X射線(xiàn)源，以其超大幾何放大倍率，高清晰實(shí)時(shí)成像，可輕松完成半導(dǎo)體產(chǎn)品爬錫高度、連錫、虛焊、漏焊、短路等封裝缺陷和空洞、裂紋等內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷檢測(cè)。結(jié)合開(kāi)管X射線(xiàn)源，實(shí)現(xiàn)最小0.8μm高精度檢測(cè)，清晰呈現(xiàn)比頭發(fā)絲細(xì)100倍的芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)，完成納米級(jí)缺陷分析，檢測(cè)效率較傳統(tǒng)人工提升2000%。

　　劉駿表示，目前UNOS系列160kV開(kāi)管射線(xiàn)源已經(jīng)形成標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)流程，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，奠定了日聯(lián)科技在工業(yè)檢測(cè)行業(yè)中的龍頭地位，在技術(shù)路線(xiàn)選擇和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)了更主動(dòng)的戰(zhàn)略地位。

　　國(guó)產(chǎn)射線(xiàn)源的量產(chǎn)不僅滿(mǎn)足半導(dǎo)體、電子制造、新能源等領(lǐng)域?qū)Ω呔葯z測(cè)的迫切需求，更降低了工業(yè)檢測(cè)的成本與門(mén)檻，賦能智能制造產(chǎn)業(yè)升級(jí)。他透露，目前開(kāi)管系列X射線(xiàn)檢測(cè)設(shè)備更多型號(hào)正在順利研發(fā)中，后續(xù)將陸續(xù)推出并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

　　日聯(lián)科技技術(shù)負(fù)責(zé)人介紹，公司產(chǎn)品的強(qiáng)大競(jìng)爭(zhēng)力也獲得了知名國(guó)際專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)的認(rèn)可，10月13日，研究機(jī)構(gòu)弗若斯特沙利文發(fā)布《全球工業(yè)X射線(xiàn)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)概覽——“GUN”為人先，引領(lǐng)行業(yè)》報(bào)告。其中，日聯(lián)科技是“GUN組合”3家企業(yè)中唯一的中國(guó)企業(yè)。