近日，兩家無錫半導體設備企業(yè)均傳出喜訊，位于無錫經(jīng)開區(qū)的研微（江蘇）半導體科技有限公司自主研發(fā)的Perfectus-A系列首臺硅外延（Si Epi）設備正式交付國內(nèi)硅材料行業(yè)頭部企業(yè)；而位于高新區(qū)的無錫卓海科技股份有限公司則實現(xiàn)了自主研發(fā)的第100臺半導體量檢測設備下線，裝車發(fā)往一家芯片制造企業(yè)。“這些不僅實現(xiàn)了同類產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代，為半導體企業(yè)提供可靠、高效的國產(chǎn)化精準解決方案，還為國內(nèi)半導體材料產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控提供了關鍵設備支撐，進一步助力半導體產(chǎn)業(yè)降低產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈風險。”業(yè)內(nèi)人士表示。

　　硅外延類設備此前被國外企業(yè)長期壟斷。作為半導體材料制備的核心環(huán)節(jié)，外延工藝會直接影響外延片質(zhì)量與芯片性能。研微半導體創(chuàng)始人兼董事長林興介紹，公司從源頭設計端發(fā)力，優(yōu)化設備的核心零部件反應腔，其生產(chǎn)的高質(zhì)量外延片不僅顯著提升晶圓表面質(zhì)量，更增強了外延材料在先進制程中的可靠性。據(jù)了解，此次交付后，研微半導體正式實現(xiàn)全系產(chǎn)品批量出貨，成為國內(nèi)極少數(shù)在沉積與外延兩大關鍵技術平臺逐步實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的設備企業(yè)之一。

　　研微半導體的快速成長，離不開地方政府在資金、政策與產(chǎn)業(yè)生態(tài)等方面的持續(xù)賦能。“在無錫創(chuàng)業(yè)如魚得水。”林興感慨道，企業(yè)創(chuàng)立初期，無錫經(jīng)開區(qū)便為其爭取到超5000萬元“耐心資本”支持，助力企業(yè)平穩(wěn)度過早期研發(fā)與積累階段。同時，無錫經(jīng)開區(qū)在集成電路產(chǎn)業(yè)領域的深厚積淀，也讓研微半導體受益匪淺，太湖灣信息技術產(chǎn)業(yè)園現(xiàn)已集聚生態(tài)圈企業(yè)70余家。這種“上下樓即上下游”的產(chǎn)業(yè)環(huán)境，大幅降低了溝通成本，有效提升了生產(chǎn)效率。此外，江南大學集成電路學院與東南大學集成電路學院也為企業(yè)輸送了大量“新鮮血液”。“我們已與這些高校共建校外實習基地，目前還在推進博士后流動站申請工作。”林興說。

　　無錫卓?？萍脊煞萦邢薰境闪⒂?009年，是一家專注于半導體前道量檢測設備研發(fā)和生產(chǎn)的國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。數(shù)據(jù)顯示，2020年至2024年，該公司秉承“修研并舉，雙線發(fā)展”的發(fā)展模式，營收從數(shù)千萬元增長至4.65億元?；仡檹?ldquo;1”到“100”的研發(fā)之路，卓海科技一位核心研發(fā)人員不禁感慨：“5年來，我們的研發(fā)團隊從初始創(chuàng)立，發(fā)展到如今數(shù)十人的規(guī)模，完成了應力測量設備、方塊電阻測量設備、反射光譜膜厚測量儀、無圖形晶圓缺陷檢測設備、探針式表面輪廓儀等設備的自主研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。此次第100臺自研設備的下線，展現(xiàn)了卓?？萍荚诟叨税雽w設備領域的研發(fā)實力和創(chuàng)新底氣。”

　　據(jù)介紹，半導體量檢測設備被稱作保障芯片良品率的“質(zhì)量閘門”，其技術水平直接決定半導體制造的質(zhì)量控制能力，也是衡量半導體產(chǎn)業(yè)自主化程度的關鍵指標之一。根據(jù)權(quán)威數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2024年全球半導體檢測和量測設備市場規(guī)模達到143.5億美元，在制造設備中占比約13%。半導體制造工藝向更先進制程邁進，直接推動了制造過程中檢測設備與量測設備的技術升級和市場需求的持續(xù)增長。